Ưu điểm của mục tiêu phún xạ magnetron hình trụ và mặt phẳng

Chuyên gia tư vấn kỹ thuật của RSM sẽ chia sẻ với bạn những ưu điểm của mục tiêu phún xạ magnetron hình trụ và mặt phẳng?So với các mục tiêu phún xạ magnetron khác, mục tiêu phún xạ magnetron hình trụ và mặt phẳng vẫn giữ được ưu điểm về tính đồng nhất lớp phủ tốt của mục tiêu phẳng hình chữ nhật và có thể tối đa hóa việc sử dụng mục tiêu thông qua hai cách sau:

(1) Khi hai nhóm (bốn) hố hình khuyên trên bề mặt mục tiêu đạt đến độ sâu nhất định, lõi mục tiêu (phần nam châm) có thể xoay 45 ° so với ống mục tiêu, sao cho các khu vực khác trên ống mục tiêu không bị ăn mòn có thể sử dụng được;

(2) Khi lõi mục tiêu của mục tiêu phún xạ magnetron hình trụ và phẳng được thiết kế dưới dạng lõi mục tiêu quay (lõi mục tiêu quay trong quá trình phún xạ), bề mặt của mục tiêu có thể được phun đều ra từng lớp mà không có hố.Tại thời điểm này, mục tiêu sẽ được sử dụng hiệu quả nhất và tỷ lệ sử dụng của mục tiêu có thể đạt tới 50% ~ 60%. Khi vật liệu mục tiêu là kim loại quý, điều này rõ ràng có ý nghĩa rất lớn.

Bằng cách sử dụng nguyên lý nam châm với đế cực trong mục tiêu phún xạ magnetron hình trụ đồng trục để giải quyết vấn đề từ trường cuối, mục tiêu mặt phẳng hình chữ nhật có thể được chuyển đổi thành mục tiêu phún xạ magnetron hình trụ và phẳng, Mục tiêu có thể tối đa hóa tỷ lệ sử dụng của mục tiêu đồng thời giữ được độ đồng đều lớp phủ tốt của mục tiêu mặt phẳng hình chữ nhật Để nâng cao lợi ích kinh tế.