Các vết nứt trên mục tiêu phún xạ thường xảy ra ở mục tiêu phún xạ gốm như oxit, cacbua, nitrua và các vật liệu giòn như crom, antimon, bismuth.Bây giờ hãy để các chuyên gia kỹ thuật của RSM giải thích tại sao mục tiêu phún xạ lại bị nứt và có thể áp dụng các biện pháp phòng ngừa nào để tránh tình trạng này.
Các mục tiêu vật liệu gốm hoặc giòn luôn chứa đựng những ứng suất cố hữu.Những căng thẳng bên trong này được tạo ra trong quá trình sản xuất mục tiêu.Ngoài ra, những ứng suất này không được loại bỏ hoàn toàn trong quá trình ủ vì chúng là đặc tính vốn có của các vật liệu này.Trong quá trình phún xạ, sự bắn phá của các ion khí sẽ truyền động lượng của chúng tới các nguyên tử mục tiêu, cung cấp cho chúng đủ năng lượng để tách chúng ra khỏi mạng tinh thể.Sự truyền động lượng tỏa nhiệt này làm cho nhiệt độ mục tiêu tăng lên, có thể đạt tới 1000000oC ở cấp độ nguyên tử.
Những cú sốc nhiệt này làm tăng ứng suất bên trong hiện có ở mục tiêu lên nhiều lần.Trong trường hợp này, nếu nhiệt không được tản nhiệt đúng cách, mục tiêu có thể bị vỡ.Để tránh mục tiêu bị nứt, cần chú trọng đến khả năng tản nhiệt.Cần có cơ chế làm mát bằng nước để loại bỏ năng lượng nhiệt không mong muốn khỏi mục tiêu.Một vấn đề khác cần xem xét là sự gia tăng sức mạnh.Sử dụng quá nhiều năng lượng trong thời gian ngắn cũng sẽ gây sốc nhiệt cho mục tiêu.Ngoài ra, chúng tôi khuyên bạn nên gắn các mục tiêu này vào bảng nối đa năng, điều này không chỉ có thể hỗ trợ mục tiêu mà còn thúc đẩy quá trình trao đổi nhiệt tốt hơn giữa mục tiêu và nước.Nếu mục tiêu có vết nứt nhưng được liên kết với tấm mặt sau thì vẫn có thể sử dụng được.
Công ty TNHH Vật liệu đặc biệt Rich có thể cung cấp các mục tiêu phún xạ với bảng nối đa năng.Nó có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu của khách hàng về vật liệu, độ dày và loại liên kết.
Thời gian đăng: 21-09-2022