Gần đây có nhiều bạn hỏi về đặc điểm của mục tiêu phún xạ molypden.Trong ngành công nghiệp điện tử, để nâng cao hiệu quả phún xạ và đảm bảo chất lượng của màng lắng đọng, các yêu cầu về đặc tính của mục tiêu phún xạ molypden là gì?Bây giờ các chuyên gia kỹ thuật của RSM sẽ giải thích cho chúng ta.
1. Độ tinh khiết
Độ tinh khiết cao là yêu cầu đặc tính cơ bản của mục tiêu phún xạ molypden.Độ tinh khiết của mục tiêu molypden càng cao thì hiệu suất của màng phún xạ càng tốt.Nói chung, độ tinh khiết của mục tiêu phún xạ molypden phải đạt ít nhất 99,95% (phần khối lượng, tương tự bên dưới).Tuy nhiên, với sự cải tiến liên tục về kích thước của tấm nền thủy tinh trong ngành công nghiệp LCD, chiều dài của dây dẫn cần phải được kéo dài và băng thông đường truyền phải mỏng hơn.Để đảm bảo tính đồng nhất của màng và chất lượng của hệ thống dây điện, độ tinh khiết của mục tiêu phún xạ molypden cũng cần phải tăng lên tương ứng.Do đó, tùy theo kích thước của chất nền thủy tinh phún xạ và môi trường sử dụng, độ tinh khiết của mục tiêu phún xạ molypden yêu cầu phải đạt 99,99% – 99,999% hoặc thậm chí cao hơn.
Mục tiêu phún xạ molypden được sử dụng làm nguồn cực âm trong phún xạ.Các tạp chất trong chất rắn, oxy và hơi nước trong lỗ chân lông là nguồn ô nhiễm chính của màng lắng đọng.Ngoài ra, trong ngành công nghiệp điện tử, do các ion kim loại kiềm (Na, K) dễ trở thành các ion di động trong lớp cách điện nên hiệu suất của thiết bị ban đầu bị giảm;Các nguyên tố như uranium (U) và titan (TI) sẽ phát ra tia X α, dẫn đến sự hỏng hóc nhẹ của thiết bị;Các ion sắt và niken sẽ gây rò rỉ bề mặt và làm tăng các nguyên tố oxy.Vì vậy, trong quá trình chuẩn bị mục tiêu phún xạ molypden, các nguyên tố tạp chất này cần được kiểm soát chặt chẽ để giảm thiểu hàm lượng của chúng trong mục tiêu.
2. Kích thước hạt và sự phân bố kích thước
Nói chung, mục tiêu phún xạ molypden là cấu trúc đa tinh thể và kích thước hạt có thể dao động từ micron đến milimet.Kết quả thực nghiệm cho thấy tốc độ phún xạ của mục tiêu hạt mịn nhanh hơn mục tiêu hạt thô;Đối với mục tiêu có chênh lệch kích thước hạt nhỏ, sự phân bố độ dày của màng lắng cũng đồng đều hơn.
3. Định hướng tinh thể
Bởi vì các nguyên tử mục tiêu dễ dàng được ưu tiên phún xạ theo hướng sắp xếp gần nhất của các nguyên tử theo hướng lục giác trong quá trình phún xạ, để đạt được tốc độ phún xạ cao nhất, tốc độ phún xạ thường tăng lên bằng cách thay đổi cấu trúc tinh thể của mục tiêu.Hướng tinh thể của mục tiêu cũng có ảnh hưởng lớn đến độ đồng đều về độ dày của màng phún xạ.Do đó, điều rất quan trọng là phải có được cấu trúc mục tiêu định hướng tinh thể nhất định cho quá trình phún xạ của màng.
4. Mật độ hóa
Trong quá trình phủ phún xạ, khi mục tiêu phún xạ có mật độ thấp bị bắn phá, khí tồn tại trong các lỗ bên trong của mục tiêu sẽ đột ngột được giải phóng, dẫn đến các hạt hoặc hạt mục tiêu có kích thước lớn bị bắn tung tóe hoặc vật liệu màng bị bắn phá bởi các electron thứ cấp sau khi hình thành màng, dẫn đến sự bắn tung tóe của hạt.Sự xuất hiện của các hạt này sẽ làm giảm chất lượng của màng.Để giảm lỗ chân lông trong chất rắn mục tiêu và cải thiện hiệu suất màng, mục tiêu phún xạ thường phải có mật độ cao.Đối với mục tiêu phún xạ molypden, mật độ tương đối của nó phải lớn hơn 98%.
5. Liên kết mục tiêu và khung gầm
Nói chung, mục tiêu phún xạ molypden phải được kết nối với khung đồng (hoặc nhôm và các vật liệu khác) không có oxy trước khi phún xạ, để độ dẫn nhiệt của mục tiêu và khung tốt trong quá trình phún xạ.Sau khi liên kết, phải tiến hành kiểm tra siêu âm để đảm bảo diện tích không liên kết của cả hai nhỏ hơn 2%, để đáp ứng yêu cầu phún xạ công suất cao mà không bị rơi ra.
Thời gian đăng: 19-07-2022