Trong những năm gần đây, với sự tiến bộ của công nghệ mạch tích hợp (IC), các ứng dụng liên quan của mạch tích hợp đã phát triển nhanh chóng.Mục tiêu phún xạ hợp kim nhôm có độ tinh khiết cực cao, làm vật liệu hỗ trợ trong sản xuất các kết nối kim loại mạch tích hợp, đã trở thành chủ đề nóng trong nghiên cứu trong nước gần đây.biên tập viên của RSM sẽ cho chúng ta thấy các đặc tính của mục tiêu phún xạ hợp kim nhôm có độ tinh khiết cao.
Để nâng cao hơn nữa hiệu suất phún xạ của mục tiêu phún xạ magnetron và đảm bảo chất lượng của màng lắng đọng, một số lượng lớn thí nghiệm cho thấy có một số yêu cầu nhất định đối với thành phần, cấu trúc vi mô và hướng hạt của mục tiêu phún xạ hợp kim nhôm có độ tinh khiết cực cao.
Kích thước hạt và hướng hạt của mục tiêu có ảnh hưởng lớn đến quá trình chế tạo và tính chất của màng IC.Kết quả cho thấy tốc độ lắng giảm khi tăng kích thước hạt;Đối với mục tiêu phún xạ có cùng thành phần, tốc độ phún xạ của mục tiêu có kích thước hạt nhỏ nhanh hơn mục tiêu có kích thước hạt lớn;Kích thước hạt của mục tiêu càng đồng đều thì sự phân bố độ dày của màng lắng đọng càng đồng đều.
Trong cùng một thiết bị phún xạ và các thông số quy trình, tốc độ phún xạ của mục tiêu hợp kim Al Cu tăng khi mật độ nguyên tử tăng, nhưng nhìn chung nó ổn định trong một phạm vi.Ảnh hưởng của kích thước hạt đến tốc độ phún xạ là do sự thay đổi mật độ nguyên tử khi thay đổi kích thước hạt;Tốc độ lắng đọng chủ yếu bị ảnh hưởng bởi hướng hạt của mục tiêu hợp kim Al Cu.Trên cơ sở đảm bảo tỷ lệ của các mặt phẳng tinh thể (200), việc tăng tỷ lệ của các mặt phẳng tinh thể (111), (220) và (311) sẽ làm tăng tốc độ lắng đọng.
Kích thước hạt và hướng hạt của các mục tiêu hợp kim nhôm có độ tinh khiết cực cao chủ yếu được điều chỉnh và kiểm soát bằng cách đồng nhất phôi, gia công nóng và ủ kết tinh lại.Với sự phát triển của kích thước wafer lên 20,32cm (8in) và 30,48cm (12in), kích thước mục tiêu cũng ngày càng tăng, điều này đặt ra yêu cầu cao hơn đối với các mục tiêu phún xạ hợp kim nhôm có độ tinh khiết cực cao.Để đảm bảo chất lượng và năng suất màng, các thông số xử lý mục tiêu phải được kiểm soát chặt chẽ để làm cho cấu trúc vi mô mục tiêu đồng nhất và hướng hạt phải có kết cấu mặt phẳng mạnh (200) và (220).
Thời gian đăng: 30/06/2022