Yêu cầu về hiệu suất đối với vật liệu mục tiêu trong ngành lưu trữ quang học

Vật liệu mục tiêu được sử dụng trong ngành lưu trữ dữ liệu đòi hỏi độ tinh khiết cao, tạp chất và lỗ chân lông phải được giảm thiểu để tránh tạo ra các hạt tạp chất trong quá trình phún xạ.Vật liệu mục tiêu được sử dụng cho các sản phẩm chất lượng cao yêu cầu kích thước hạt tinh thể của nó phải nhỏ và đồng đều và không có định hướng tinh thể.Dưới đây, chúng ta hãy xem các yêu cầu của ngành lưu trữ quang học đối với vật liệu mục tiêu?

1. Độ tinh khiết

Trong các ứng dụng thực tế, độ tinh khiết của vật liệu mục tiêu thay đổi tùy theo các ngành và yêu cầu khác nhau.Tuy nhiên, nhìn chung, độ tinh khiết của vật liệu mục tiêu càng cao thì hiệu suất của màng phún xạ càng tốt.Ví dụ, trong ngành lưu trữ quang học, độ tinh khiết của vật liệu mục tiêu phải lớn hơn 3N5 hoặc 4N

2. Hàm lượng tạp chất

Vật liệu mục tiêu đóng vai trò là nguồn cực âm trong quá trình phún xạ, và các tạp chất trong chất rắn, oxy và hơi nước trong lỗ chân lông là nguồn ô nhiễm chính để lắng đọng màng mỏng.Ngoài ra, còn có những yêu cầu đặc biệt đối với các mục tiêu sử dụng khác nhau.Lấy ngành lưu trữ quang học làm ví dụ, hàm lượng tạp chất trong mục tiêu phún xạ phải được kiểm soát ở mức rất thấp để đảm bảo chất lượng của lớp phủ.

3. Kích thước hạt và phân bố kích thước

Thông thường, vật liệu mục tiêu có cấu trúc đa tinh thể, với kích thước hạt từ micromet đến milimet.Đối với các mục tiêu có cùng thành phần thì tốc độ phún xạ của mục tiêu hạt mịn nhanh hơn mục tiêu hạt thô.Đối với các mục tiêu có chênh lệch kích thước hạt nhỏ hơn, độ dày màng lắng đọng cũng sẽ đồng đều hơn.

4. Sự nhỏ gọn

Để giảm độ xốp trong vật liệu mục tiêu rắn và cải thiện hiệu suất màng, thông thường yêu cầu vật liệu mục tiêu phún xạ phải có mật độ cao.Mật độ của vật liệu mục tiêu chủ yếu phụ thuộc vào quá trình chuẩn bị.Vật liệu mục tiêu được sản xuất bằng phương pháp nấu chảy và đúc có thể đảm bảo rằng không có lỗ chân lông bên trong vật liệu mục tiêu và mật độ rất cao.