Lớp phủ chân không đề cập đến việc làm nóng và làm bay hơi nguồn bay hơi trong chân không hoặc phún xạ bằng cách bắn phá ion tăng tốc và lắng đọng nó trên bề mặt chất nền để tạo thành màng một lớp hoặc nhiều lớp.Nguyên lý của lớp phủ chân không là gì?Tiếp theo, biên tập viên của RSM sẽ giới thiệu cho chúng ta.
1. Lớp phủ bay hơi chân không
Lớp phủ bay hơi yêu cầu khoảng cách giữa các phân tử hoặc nguyên tử hơi từ nguồn bay hơi và chất nền được phủ phải nhỏ hơn đường đi tự do trung bình của các phân tử khí dư trong phòng phủ, để đảm bảo rằng các phân tử hơi của sự bay hơi có thể chạm tới bề mặt chất nền mà không va chạm.Đảm bảo màng nguyên chất và chắc chắn, quá trình bay hơi sẽ không bị oxy hóa.
2. Lớp phủ phún xạ chân không
Trong chân không, khi các ion được gia tốc va chạm với chất rắn, một mặt tinh thể bị phá hủy, mặt khác chúng va chạm với các nguyên tử cấu thành nên tinh thể và cuối cùng là các nguyên tử hoặc phân tử trên bề mặt chất rắn. phun ra ngoài.Vật liệu phún xạ được mạ trên đế để tạo thành một màng mỏng, được gọi là mạ phún xạ chân không.Có nhiều phương pháp phún xạ, trong đó phún xạ diode là phương pháp sớm nhất.Theo các mục tiêu cực âm khác nhau, nó có thể được chia thành dòng điện một chiều (DC) và tần số cao (RF).Số lượng nguyên tử bị phún xạ khi tác động lên bề mặt mục tiêu bằng ion được gọi là tốc độ phún xạ.Với tốc độ phún xạ cao, tốc độ tạo màng nhanh.Tốc độ phún xạ có liên quan đến năng lượng, loại ion và loại vật liệu mục tiêu.Nói chung, tốc độ phún xạ tăng lên khi năng lượng ion của con người tăng lên và tốc độ phún xạ của kim loại quý cao hơn.
Thời gian đăng: 14-07-2022