Kim loại vonfram chịu lửa và hợp kim vonfram có ưu điểm là ổn định nhiệt độ cao, khả năng chống di chuyển điện tử cao và hệ số phát xạ điện tử cao.Mục tiêu hợp kim vonfram và vonfram có độ tinh khiết cao chủ yếu được sử dụng để chế tạo các điện cực cổng, dây kết nối, lớp rào cản khuếch tán của mạch tích hợp bán dẫn.Chúng có yêu cầu rất cao về độ tinh khiết, hàm lượng nguyên tố tạp chất, mật độ, kích thước hạt và cấu trúc hạt đồng đều của vật liệu.Chúng ta hãy xem xét các yếu tố ảnh hưởng đến việc chuẩn bị mục tiêu vonfram có độ tinh khiết caoby RCông Ty TNHH Vật Liệu Đặc Biệt ich.
I. Ảnh hưởng của nhiệt độ thiêu kết
Quá trình hình thành phôi mục tiêu vonfram thường được thực hiện bằng áp suất đẳng tĩnh lạnh.Hạt vonfram sẽ lớn lên trong quá trình thiêu kết.Sự phát triển của hạt vonfram sẽ lấp đầy khoảng trống giữa các ranh giới tinh thể, do đó làm tăng mật độ của mục tiêu vonfram.Với sự gia tăng thời gian thiêu kết, sự gia tăng mật độ của mục tiêu vonfram chậm lại dần dần.Lý do chính là chất lượng của vật liệu mục tiêu vonfram không thay đổi nhiều sau nhiều quá trình thiêu kết.Bởi vì hầu hết các khoảng trống trong ranh giới tinh thể được lấp đầy bởi các tinh thể vonfram, tốc độ thay đổi kích thước tổng thể của mục tiêu vonfram là rất nhỏ sau mỗi quá trình thiêu kết, dẫn đến không gian hạn chế cho mật độ mục tiêu vonfram tăng lên.Khi quá trình thiêu kết diễn ra, các hạt vonfram lớn được lấp đầy vào các khoảng trống, tạo ra mục tiêu đậm đặc hơn với kích thước nhỏ hơn.
2. Tác dụng củahăn thời gian bảo quản
Ở cùng nhiệt độ thiêu kết, độ nén của vật liệu mục tiêu vonfram được cải thiện khi tăng thời gian thiêu kết.Khi thời gian thiêu kết tăng lên, kích thước hạt vonfram tăng lên và khi thời gian thiêu kết kéo dài, hệ số tăng trưởng kích thước hạt chậm lại dần.Điều này cho thấy việc tăng thời gian thiêu kết cũng có thể cải thiện hiệu suất của mục tiêu vonfram.
3. Tác dụng của việc lăn lên mục tiêu Phiệu suất
Để cải thiện mật độ của vật liệu mục tiêu vonfram và đạt được cấu trúc xử lý của vật liệu mục tiêu vonfram, việc cán vật liệu mục tiêu vonfram ở nhiệt độ trung bình phải được thực hiện dưới nhiệt độ kết tinh lại.Khi nhiệt độ cán của phôi mục tiêu cao, cấu trúc sợi của phôi mục tiêu sẽ dày hơn, trong khi đó cấu trúc sợi của mục tiêu trống sẽ mịn hơn.Khi hiệu suất cán nóng đạt trên 95%.Mặc dù sự khác biệt về cấu trúc sợi do hạt ban đầu thiêu kết hoặc nhiệt độ cán khác nhau sẽ được loại bỏ, nhưng cấu trúc sợi đồng nhất hơn sẽ được hình thành bên trong mục tiêu, do đó tốc độ xử lý cán ấm càng cao thì hiệu suất của mục tiêu càng tốt.
Thời gian đăng: May-05-2022