1, Chuẩn bị phún xạ
Điều rất quan trọng là phải giữ sạch buồng chân không, đặc biệt là hệ thống phún xạ.Bất kỳ dư lượng nào được hình thành bởi dầu bôi trơn, bụi và lớp phủ trước đó sẽ tích tụ hơi nước và các chất ô nhiễm khác, điều này sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến mức độ chân không và làm tăng khả năng hỏng tạo màng.Đoản mạch hoặc phóng hồ quang mục tiêu, bề mặt màng thô và hàm lượng tạp chất hóa học quá mức thường do buồng phún xạ, súng phún xạ và mục tiêu không sạch sẽ gây ra.Để tuân thủ các đặc tính thành phần của lớp phủ, cần phải làm sạch và làm khô khí phún xạ (argon hoặc oxy).Sau khi chất nền được lắp đặt vào buồng phún xạ, không khí cần được hút ra để đạt được độ chân không theo yêu cầu của quy trình.Lớp che chắn ở khu vực tối, tường khoang và bề mặt liền kề cũng cần được giữ sạch sẽ.Khi vệ sinh buồng chân không, chúng tôi chủ trương sử dụng phương pháp phun bi thủy tinh để xử lý các bộ phận bám bụi, cùng với khí nén để loại bỏ các cặn bắn sớm xung quanh buồng, sau đó đánh bóng nhẹ nhàng bề mặt bên ngoài bằng giấy nhám tẩm alumina.Sau khi đánh bóng giấy gạc, nó được làm sạch bằng cồn, axeton và nước khử ion.Cùng nhau, nó ủng hộ việc sử dụng máy hút bụi công nghiệp để làm sạch phụ trợ.Các mục tiêu do kim loại Gaozhan sản xuất được đóng gói trong túi nhựa kín chân không,
Được xây dựng trong chất chống ẩm.Khi sử dụng mục tiêu, vui lòng không dùng tay chạm trực tiếp vào mục tiêu.Lưu ý: khi sử dụng mục tiêu, vui lòng đeo găng tay bảo trì sạch và không có xơ.Không bao giờ chạm trực tiếp vào mục tiêu bằng tay của bạn
2, Làm sạch mục tiêu
Mục đích của việc làm sạch mục tiêu là để loại bỏ bụi bẩn có thể tồn tại trên bề mặt mục tiêu.
Mục tiêu kim loại có thể được làm sạch theo bốn bước,
Bước đầu tiên là làm sạch bằng vải mềm không có xơ ngâm trong axeton;
Bước thứ hai tương tự như bước đầu tiên là làm sạch bằng cồn;
Bước 3: làm sạch bằng nước khử ion.Sau khi rửa bằng nước khử ion, đặt mục tiêu vào lò nướng và sấy khô ở 100oC trong 30 phút.
Việc làm sạch các mục tiêu oxit và gốm phải được thực hiện bằng “vải không có xơ”.
Bước thứ tư là rửa mục tiêu bằng argon với áp suất cao và khí nước thấp sau khi loại bỏ vùng bụi bẩn, để loại bỏ tất cả các hạt tạp chất có thể hình thành hồ quang trong hệ thống phún xạ
3, Thiết bị mục tiêu
Trong quá trình lắp đặt mục tiêu, biện pháp phòng ngừa quan trọng của Z là đảm bảo kết nối dẫn nhiệt tốt giữa mục tiêu và thành làm mát của súng phún xạ.Nếu tấm làm mát bị cong vênh nghiêm trọng hoặc tấm mặt sau bị cong vênh nghiêm trọng, thiết bị mục tiêu sẽ bị nứt hoặc uốn cong và độ dẫn nhiệt từ mục tiêu phía sau đến mục tiêu sẽ bị ảnh hưởng lớn, dẫn đến khả năng tản nhiệt không thành công. trong quá trình phún xạ, và mục tiêu sẽ bị nứt hoặc trượt
Để đảm bảo tính dẫn nhiệt, một lớp giấy than chì có thể được đệm giữa vách làm mát cực âm và mục tiêu.Hãy chú ý kiểm tra cẩn thận và làm rõ độ phẳng của thành làm mát của súng phún xạ được sử dụng để đảm bảo vòng chữ O luôn ở đúng vị trí.
Do độ sạch của nước làm mát được sử dụng và bụi có thể xuất hiện trong quá trình hoạt động của thiết bị sẽ đọng lại trong bể nước làm mát catốt nên cần kiểm tra, làm sạch bể nước làm mát catốt khi lắp đặt mục tiêu để đảm bảo sự trơn tru. sự tuần hoàn của nước làm mát và đầu vào và đầu ra sẽ không bị tắc.
Một số cực âm được quy hoạch có một khoảng trống nhỏ với cực dương nên khi lắp đặt mục tiêu phải đảm bảo không có điểm tiếp xúc hoặc dây dẫn giữa cực âm và cực dương, nếu không sẽ xảy ra đoản mạch.
Tham khảo Hướng dẫn vận hành thiết bị để biết thông tin về cách vận hành mục tiêu một cách chính xác.Nếu không có thông tin như vậy trong hướng dẫn sử dụng, vui lòng thử cài đặt thiết bị theo các đề xuất liên quan do Gaozhan metal cung cấp.Khi siết chặt vật cố định mục tiêu, trước tiên hãy siết chặt một bu lông bằng tay, sau đó siết chặt một bu lông khác theo đường chéo bằng tay.Lặp lại điều này cho đến khi tất cả các bu lông trên thiết bị được siết chặt, sau đó siết chặt bằng vật gì đó.
4, Kiểm tra ngắn mạch và độ kín
Sau khi hoàn thành thiết bị mục tiêu, cần kiểm tra độ ngắn mạch và độ kín của toàn bộ cực âm,
Đề xuất xác định xem có ngắn mạch ở cực âm hay không bằng cách sử dụng máy đo điện trở
Phân biệt chủng tộc.Sau khi xác nhận rằng không có hiện tượng đoản mạch ở cực âm, có thể tiến hành phát hiện rò rỉ và đưa nước vào cực âm để xác nhận xem có rò rỉ nước hay không.
5. Mục tiêu phún xạ trước
Phương pháp phún xạ trước mục tiêu ủng hộ phương pháp phún xạ argon nguyên chất, có thể làm sạch bề mặt của mục tiêu.Khi mục tiêu được phún xạ trước, nên tăng công suất phún xạ từ từ và tốc độ tăng công suất của mục tiêu gốm là 1,5WH / cm2.Tốc độ phún xạ trước của mục tiêu kim loại có thể cao hơn khối mục tiêu gốm và tốc độ tăng công suất hợp lý là 1,5WH/cm2.
Trong quá trình phún xạ trước, chúng ta cần kiểm tra độ phóng điện của mục tiêu.Thời gian phún xạ trước thường là khoảng 10 phút.Nếu không có hiện tượng hồ quang thì tăng công suất phún xạ liên tục
Để quyền lực thiết lập.Theo kinh nghiệm, công suất phún xạ Z cao có thể chấp nhận được của mục tiêu kim loại là
25watt/cm2, 10watt/cm2 cho mục tiêu gốm.Vui lòng tham khảo cơ sở thiết lập và kinh nghiệm về áp suất buồng chân không trong quá trình phún xạ trong hướng dẫn vận hành hệ thống của người dùng.Nói chung, cần đảm bảo rằng nhiệt độ nước ở đầu ra của nước làm mát phải thấp hơn 35oC, nhưng điều quan trọng là phải đảm bảo rằng hệ thống tuần hoàn nước làm mát có thể hoạt động hiệu quả.
Sự lưu thông nhanh chóng của nước siêu lạnh sẽ lấy đi nhiệt, đây là một đảm bảo quan trọng để đảm bảo quá trình phún xạ liên tục với công suất cao.Đối với các mục tiêu bằng kim loại, người ta thường ủng hộ rằng dòng nước làm mát
áp lực nước 20lpm là khoảng 5gmp;Đối với các mục tiêu bằng gốm, người ta thường ủng hộ rằng lưu lượng nước là 30lpm và áp lực nước khoảng 9gmp
6, Bảo trì mục tiêu
Để ngăn ngừa đoản mạch và phóng điện do khoang không sạch gây ra trong quá trình phún xạ, cần loại bỏ các tia phun tích tụ ở trung tâm và cả hai bên của đường phún xạ theo từng giai đoạn,
Điều này cũng giúp người dùng liên tục phún xạ ở mật độ năng lượng cao z
7、 Lưu trữ mục tiêu
Các mục tiêu do kim loại Gaozhan cung cấp được đóng gói trong túi nhựa chân không hai lớp.Chúng tôi ủng hộ việc người dùng giữ các mục tiêu, dù là kim loại hay gốm, trong bao bì chân không.Đặc biệt, các mục tiêu liên kết cần được bảo quản trong điều kiện chân không để tránh quá trình oxy hóa của lớp liên kết ảnh hưởng đến chất lượng liên kết.Về việc đóng gói các mục tiêu bằng kim loại, chúng tôi chủ trương rằng Z nên được đóng gói trong túi nhựa sạch
Thời gian đăng: May-13-2022