Với sự phát triển của công nghệ công nghiệp, chất lượng của mục tiêu yêu cầu cho sản xuất công nghiệp cũng ngày càng cao hơn, bởi chất lượng của mục tiêu ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất của màng phún xạ magnetron.Ngày nay, các doanh nghiệp thường thích sử dụng các mục tiêu mật độ cao với cấu trúc thành phần đồng nhất cho lớp phủ phún xạ khi mua mục tiêu, nhằm giảm việc ghép nhiều mục tiêu và cải thiện chất lượng của lớp phủ phún xạ. Do đó, điều này đòi hỏi nhà sản xuất mục tiêu phải nghiêm ngặt kiểm soát chất lượng của mục tiêu. Bây giờ hãy để biên tập viên của Bắc KinhRichmatđưa bạn hiểu những yếu tố nào ảnh hưởng đến chất lượng của mục tiêu.
1、Ảnh hưởng của các thông số quy trình đến chất lượng của mục tiêu
Các thông số quy trình chủ yếu bao gồm áp suất ép nguội, tốc độ điều áp và tốc độ đúc và các thông số khác.Khi mục tiêu được ép lạnh, áp suất sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng của mục tiêu;Tốc độ điều áp có tác động lớn đến sự phân tầng của phôi mục tiêu và trạng thái ban đầu khi bột được đổ đồng đều vào khuôn âm là trạng thái lỏng lẻo, có nhiều lỗ chân lông và khí, quá trình thải khí mất một khoảng thời gian. thời gian.
2、CácẢnh hưởng của nấm mốc đến chất lượng mục tiêu
Khuôn cũng có ảnh hưởng nhất định đến việc hình thành phôi mục tiêu.Các yếu tố ảnh hưởng chính bao gồm độ hoàn thiện bề mặt của mặt trong của khuôn, khe hở giữa chày và khoang khuôn, v.v. nếu khe hở quá lớn sẽ xảy ra hiện tượng chảy bột và rò rỉ bột, điều này sẽ làm cho mật độ biên của các vấn đề về phôi ở mức thấp và chất lượng như rơi cạnh trong quá trình tháo khuôn.
3、Ảnh hưởng của độ ẩm vật liệu đến chất lượng của mục tiêu
Độ ẩm có trong bột của vật liệu mục tiêu tương đương với tác dụng của chất bôi trơn và sự hiện diện của nó có thể làm giảm ma sát giữa các hạt, có lợi cho việc truyền áp suất ép lạnh hiệu quả và cũng có lợi cho việc trượt trơn tru và sắp xếp lại giữa các hạt bột.Tuy nhiên, khi hàm lượng nước quá ít hoặc quá nhiều sẽ ảnh hưởng đến chất lượng của mục tiêu.
Khi hàm lượng nước trong bột ITO nhỏ hơn 2%, khả năng xảy ra các vấn đề về chất lượng như mất cạnh và tách lớp của vật liệu mục tiêu sẽ tăng lên rất nhiều khi các điều kiện khác như áp suất ép nguội và hàm lượng chất kết dính là như nhau. Khi có nước Hàm lượng trong bột ITO lớn hơn 10%, trong cùng áp suất ép nguội, hàm lượng chất kết dính và các điều kiện khác, mặc dù các hạt bột trượt và sắp xếp lại dễ dàng hơn nhưng nước thoát ra từ bên trong khuôn sẽ gây ra hiện tượng rơi các cạnh xung quanh chỗ trống của vật liệu mục tiêu.Kết quả cho thấy khi hàm lượng nước trong bột nằm trong khoảng từ 3% đến 6% thì chất lượng phôi được kiểm soát hiệu quả.
4、Ảnh hưởng của hàm lượng chất kết dính đến chất lượng mục tiêu
Lượng chất kết dính được kết hợp có ảnh hưởng lớn đến chất lượng của vật liệu mục tiêu.Khi lượng kết hợp nhỏ hơn 1%, khoảng trống mục tiêu sẽ gặp vấn đề về chất lượng rất nghiêm trọng, tại thời điểm này, tác dụng của chất kết dính không được thể hiện và nó ít có tác dụng trong việc cải thiện độ bền của khoảng trống mục tiêu.Với việc tăng tỷ lệ kết hợp chất kết dính lên 2% và 3%, độ bền của vật liệu mục tiêu được nâng cao và vấn đề chất lượng của vật liệu mục tiêu giảm đi đáng kể.Tuy nhiên, khi chất kết dính được kết hợp ở mức 4%, mặc dù vấn đề về chất lượng của phôi ép nguội của vật liệu mục tiêu biến mất, nhưng vật liệu mục tiêu đôi khi bị tách lớp trong quá trình đúc khuôn tiếp theo.
Thời gian đăng: 22-04-2022