Mục tiêu có thị trường rộng, phạm vi ứng dụng và khả năng phát triển lớn trong tương lai.Để giúp bạn hiểu rõ hơn về các chức năng của mục tiêu, dưới đây kỹ sư RSM sẽ giới thiệu ngắn gọn các yêu cầu chức năng chính của mục tiêu.
Độ tinh khiết: độ tinh khiết là một trong những chỉ số chức năng chính của mục tiêu, bởi vì độ tinh khiết của mục tiêu có ảnh hưởng lớn đến chức năng của màng.Tuy nhiên, trong ứng dụng thực tế, yêu cầu về độ tinh khiết của mục tiêu cũng khác nhau.Ví dụ, với sự phát triển nhanh chóng của ngành vi điện tử, kích thước của tấm wafer silicon được mở rộng từ 6 “đến 8” thành 12 “, và chiều rộng dây giảm từ 0,5um xuống 0,25um, 0,18um hoặc thậm chí 0,13um.Trước đây, 99,995% độ tinh khiết mục tiêu có thể đáp ứng các yêu cầu quy trình là 0,35umic, trong khi việc chuẩn bị các dòng 0,18um yêu cầu 99,999% hoặc thậm chí 99,9999% độ tinh khiết mục tiêu.
Hàm lượng tạp chất: tạp chất trong chất rắn mục tiêu và oxy và hơi nước trong lỗ chân lông là nguồn ô nhiễm chính của màng lắng đọng.Mục tiêu cho các mục đích khác nhau có yêu cầu khác nhau đối với hàm lượng tạp chất khác nhau.Ví dụ, mục tiêu nhôm và hợp kim nhôm nguyên chất được sử dụng trong ngành bán dẫn có yêu cầu đặc biệt về hàm lượng kim loại kiềm và hàm lượng nguyên tố phóng xạ.
Mật độ: để giảm lỗ chân lông trong chất rắn mục tiêu và cải thiện chức năng của màng phún xạ, mục tiêu thường phải có mật độ cao.Mật độ của mục tiêu không chỉ ảnh hưởng đến tốc độ phún xạ mà còn ảnh hưởng đến chức năng điện và quang của màng.Mật độ mục tiêu càng cao thì chức năng của phim càng tốt.Ngoài ra, mật độ và cường độ của mục tiêu được cải thiện để mục tiêu có thể chịu được ứng suất nhiệt tốt hơn trong quá trình phún xạ.Mật độ cũng là một trong những chỉ số chức năng chính của mục tiêu.
Thời gian đăng: 20-05-2022