Vai trò của mục tiêu phún xạ trong lớp phủ chân không là gì

Mạ chân không trong việc lựa chọn vật liệu mục tiêu phún xạ hiện nay là một vấn đề đối với mọi người, vì lớp phủ phún xạ, đặc biệt là sự phát triển của kỹ năng phủ phún xạ magnetron, có thể nói là có bất kỳ thông tin nào để có thể nhắm mục tiêu chuẩn bị vật liệu cho màng mỏng bằng cách bắn phá ion, bởi vì bằng cách phun vật liệu mục tiêu trong quá trình phủ lên loại chất nền, có ảnh hưởng quan trọng đến chất lượng của màng phún xạ, do đó, các yêu cầu về vật liệu mục tiêu nghiêm ngặt hơn.Sau đây chúng ta sẽ cùng Biên tập viên của Beijing Relaxation tìm hiểu về vai trò của mục tiêu phún xạ trong sơn chân không

一, Nguyên tắc lựa chọn và phân loại vật liệu mục tiêu

Trong việc lựa chọn vật liệu mục tiêu, ngoài việc lựa chọn việc sử dụng phim, cũng cần xem xét các vấn đề sau:

Vấn đề 1. Theo yêu cầu sử dụng và hiệu suất của màng, vật liệu mục tiêu cần phải đáp ứng các yêu cầu kỹ thuật về độ tinh khiết, hàm lượng tạp chí, tính đồng nhất của thành phần, độ chính xác gia công, v.v.

Vấn đề 2. Vật liệu mục tiêu phải có độ bền cơ học tốt và ổn định hóa học sau khi tạo màng;

Bài 3. Vật liệu màng cần tạo ra màng phức hợp dễ dàng với khí phản ứng là màng phún xạ phản ứng;

Vấn đề 4. Cần đặt mục tiêu và ma trận phải chắc chắn, nếu không, nên sử dụng vật liệu màng có độ bám dính tốt với ma trận, trước tiên phun một lớp màng đáy rồi chuẩn bị lớp màng cần thiết;

Câu 5. Trên cơ sở đáp ứng yêu cầu về tính năng của màng, chênh lệch giữa hệ số giãn nở nhiệt của mục tiêu và ma trận càng nhỏ thì càng tốt, nhằm giảm ảnh hưởng của ứng suất nhiệt của màng phún xạ;

Chuẩn bị một số mục tiêu thường được sử dụng

(1) mục tiêu cr

Crom làm vật liệu màng phún xạ không chỉ dễ kết hợp với vật liệu nền có độ bám dính cao, màng crom và oxit CrQ3 mà các tính chất cơ học, khả năng kháng axit và ổn định nhiệt của nó cũng tốt hơn.

Công ty TNHH công nghệ cao Ruichi Bắc Kinh chủ yếu tham gia vào: mục tiêu titan zirconium, mục tiêu nhôm, mục tiêu niken, mục tiêu crom, mục tiêu vonfram, mục tiêu molypden, mục tiêu đồng, mục tiêu silicon, mục tiêu niobi, mục tiêu tantalum, hợp kim titan-silicon mục tiêu, mục tiêu hợp kim titan-niobium, mục tiêu hợp kim titan-vonfram, mục tiêu hợp kim titan-zirconium, mục tiêu hợp kim niken-crom, mục tiêu hợp kim nhôm silica, mục tiêu hợp kim niken-vanadi, mục tiêu hợp kim ba crom-nhôm-silicon,Ti al si vật liệu mục tiêu hợp kim ternary, được sử dụng rộng rãi trong trang trí/bề mặt cứng và lớp phủ chức năng, kính kiến ​​trúc, màn hình phẳng/quang điện, lưu trữ quang, điện tử, in ấn và các ngành nghề khác.